“这是你们设计的方案？”
王中军将手里的文件翻的哗哗作响，边看边忍不住皱起了眉头来。
“用腐蚀剂的各向同性来制作探针，你们考虑过这里面的工作量吗？”
“使用可控制侵蚀速度的硝酸和氢氟酸，我们计算过可能的配比，至少要做上千组实验。”
钟大华的声音没有多少波动，昨晚吴牧提出这个思路之后，他们俩就已经通过代理公司搜集了相关的信息，但情况却有些出人意料。
在美国的数据库里，并没有与这个思路相关的技术。
事实上从八十年代起，湿法蚀刻在美国就已经属于落后技术了。随着制程技术的提高，现在业界主流已经是干法蚀刻更胜一筹，因为干法蚀刻的各向异性更好，芯片的成品率自然更高。
也就是说在湿法蚀刻这个路线上，业界并没有走到尽头就更换了路线。
美国人技术比较先进，八十年代之后制程技术发展到微米级，为了克服湿法蚀刻的缺点，应用材料公司直接推出了干法蚀刻的pvd技术，干脆另开炉灶了！干法蚀刻是用等离子体直接撞击晶圆，从化学反应变成了物理反应，干脆没有各向同性的问题了。
当然，后来干法蚀刻的物理性蚀刻也不能满足需求，于是业界又把湿法蚀刻捡回来了。但那也是利用离子蚀刻机将化学腐蚀剂离子化之后，在pecvd基础上搞的湿法蚀刻。
各向异性的问题，早在八十年代美国人就解决了。
如今钟大华和吴牧想要走回头路，其实是挑了一条充满荆棘的小路在走。
想要参考、借鉴，可根本就没有先例可循。这样一来，难免让人有些心理打鼓了。
不过钟大华脸上根本看不出怀疑和忐忑，面对上千组实验需要的工作量，仿佛就像在说下班去哪里买菜一样。
“上千组实验？我看可不够！”
王中军摇了摇头，哼了一声：“这是你们计算配比和时间控制需要的实验数量，但是你想过没有，我们要的不是一根普通的针尖，而是一根50纳米宽的针尖！除了时间、配比以外，甚至一丁点微弱的空气流动，都能让你的实验结果出现偏差。除此之外，温度、湿度、空气杂质，这些还是能想到的干扰，真正做实验的时候，你会发现更多想都没想过的干扰源会出现……这些都必须一一排除，一千组实验你能保证出结果吗？”